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潔凈室的測試及驗收標準

控制潔凈室空氣參數的目的—檢查潔凈室是否符合給定的潔凈度級別。無論是在投產調試工作完成后的潔凈室檢測階段，還是潔凈室使用階段都要完成空氣參數的控制工作。在各種標準和建議（16）中都詳細地制訂了和提出了潔凈室空氣參數的測試和控制方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。

在潔凈室內，按其用途的不同應控制下列參數：
1、測試狀態的確定
2、空氣中粒子的濃度
3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）
4、風量和換氣次數
5、最終過濾器的整體性
6、空氣溫度和濕度
7、潔凈室的密閉性
8、潔凈室表面的潔凈度

測試狀態的確定：根據設計要求，一般潔凈室都是對潔凈室內的空氣進行靜態檢測，一般不做動態檢測，如需動態檢測，需要制定或參照其他標準。

空氣粒子濃度的檢測

潔凈度級別
潔凈室和潔凈區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的最大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。
空氣潔凈度級別和空氣潔凈度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，潔凈室的潔凈級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的最大允許濃度確定的。
在確定實際潔凈室的潔凈度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下面的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。

所列為整數級別序數N和最常見值D的粒子最大允許濃度
ISON級 粒子最大允許濃度Cn顆m3，粒徑≥下列值，微米
0.1 0.2 0.3 0.5 1.0 5.0
ISO 1級 10 2 - - - -
ISO 2級 100 24 10 4 - -
ISO 3級 1000 237 102 35 8 -
ISO 4級 10000 2370 1020 352 83 -
ISO 5級 100000 23700 10200 3520 832 29
ISO 6級 1000000 237000 102000 35200 8320 293
ISO 7級 - 352000 83200 2930
ISO 8級 - 3520000 832000 29300
ISO 9級 - 8320000 293000

備注：濃度值Cn應四舍五入，小數點后保留三位，在實際情況下粒子濃度的實際誤差是存在的，求不出精度很高的濃度。

潔凈度級別表示實例

ISO 4級；靜態；給定粒徑0.5微米（352粒子/m3）。
ISO 5級；靜態；給定粒徑0.5微米（3520粒子/m3）；5.0微米（29粒子/m3）。
因此，在測試具體的潔凈室的相應潔凈度級別時，不需要檢測如上表所示的該級別的所有粒子粒徑。而只要檢測為該種潔凈室給定的粒子粒徑。
測定潔凈度級別的方法
在檢測潔凈室的潔凈度級別時，應測定潔凈室內1點或數點的懸浮粒子濃度（即取樣點的粒子濃度）。

因此必須滿足下列要求

1）確認潔凈室的狀態與給定的相符；
2）確定給定粒徑，潔凈室取樣點的數量和位置；
3）確定每一取樣點的取樣數量；
4）確定對每一種給定粒徑在每1取樣點上，每1次取樣的取樣量和取樣時間；
5）取樣之后應對每一種給定粒徑的粒子進行相應統計；
6）將取樣數據填入按各種給定粒徑統計的粒子統計記錄表內（適于采用無計算機軟件的粒子計數器的場合下）；
7）整理取得的數據；
8）對結果進行分析；
9）整理方案確定級別應符合上表要求。

氣流的檢測

在潔凈室中的氣流：
氣流風速（通常是控制單向氣流的風速）
氣流均勻性（單向氣流風速穩定性）并目視檢查氣流。
空氣（單向氣流）的風速和風量
空氣單向氣流的風速是在垂直于氣流方向的平面上并距離風源150-500mm處測得的。
測試點的數量應大于被測表面面積的平方根，但不得小于3，應在每一個設定的網格中進行測量，測量點應均勻地分布在平面上。
應在距離過濾器表面150mm處測試過濾器出口處的風速。在評價氣流的均勻性時，應在距離過濾器表面300mm以上處測試風速。
每1點的測量時間不得少于10秒。并且要確定平均值，最大和最小值。

氣流的均勻性

根據在垂直于空氣運動方向的平面上各點的風速測試數據，評價單向氣流的均勻性，建議該平面應距離過濾器表面（風口）300毫米以上。
平面上各點處的風速相差不得超過20%-30%。

檢驗過濾器的整體性

最終過濾器（HEPA，ULPA過濾器）是潔凈室的重要部分。這些過濾器安設在潔凈室的吊頂和墻上，裝在設備和風管內。應進行泄漏檢查，以控制過濾器的整體性，過濾器的滲漏意味著粒子的滲漏，會超過ГOCTP5125-99。
制造商應在廠內對過濾器作最大穿透粒徑試驗，附過濾器檢測報告，現場不做檢漏。

溫度的檢測

在潔凈室內采用兩種方法控制溫度：
 一般控制
 特殊控制
 （一般控制）在通風空調系統投產-調試時，以及在潔凈室檢測的各個階段和使用階段均要進

行溫度的一般控制。

（一般控制）在通風空調系統投產-調試時，以及在潔凈室檢測的各個階段和使用階段均要進

行溫度的一般控制。

規定工作席工作區高度處的溫度，以及必要時，其他工作點的溫度都要加以控制。

在1小時或更多一些的時間內應周期性的連續測試6分鐘。

相對濕度的控制

待通風空調系統工作穩定后，相對濕度的控制可與溫度的測量同時進行。

至少在每一處對相對濕度有要求的區域內設1個點進行相對濕度的測量，為了使傳感器持續穩

定，測量的持續時間不得少于6分鐘。

潔凈實驗室技術指標

格式1（式樣）

記錄書

      工段，        潔凈室取樣                                             

取樣時期                                                                   

房間狀態                                                                   

（空態、靜態、動態）

給定潔凈度級別                                                          

給定閥徑粒徑，微米                                                  

粒子的最大允許濃度，粒子/m3                                                

取樣量，升                                                                 

取樣時間，分鐘                                                             

取樣點數量r                                                                

每1取樣點上的取樣次數，P                                                     

取樣點位置示意圖

2 3

5

1 4       

取樣者                                      

                 （簽字）